Inngangur: Hvers vegna hálfleiðaraframleiðsla krefst iðnaðarlofttegunda
Hálfleiðaraiðnaðurinn á heimsvísu er orðinn einn af tæknilega fullkomnustu framleiðslugeirunum, sem styður forrit, allt frá rafeindatækni og gagnaverum til gervigreindar og rafknúinna farartækja. Á bak við hverja hálfleiðaraframleiðsluverksmiðju (fab) liggur flókinn innviði sem útvegar ofur-hár-lofttegundir sem eru nauðsynlegar fyrir oblátaframleiðslu.
Meðal þessara lofttegunda,köfnunarefni, súrefni og argongegna mikilvægu hlutverki í mörgum hálfleiðuraferlum, þar með talið skífuframleiðslu, oxun, útfellingu, ætingu og hreinsun. Til að tryggja stöðugt framboð og stöðugt hreinleikastig treysta mörg hálfleiðarastöðvar áá-svæði loftskiljunarverksmiðja (ASU)hannað sérstaklega fyrir gasframleiðslu með mikilli-hreinleika.
Loftaðskilnaðartækni gerir kleift að draga iðnaðarlofttegundir beint úr andrúmslofti í gegnum frostefnaferla, sem veitir áreiðanlegt og skalanlegt framboð af há-hreinar lofttegundum sem þarf til hálfleiðaraframleiðslu.
Hlutverk loftaðskilnaðarverksmiðja í hálfleiðaraframleiðslu
Loftskiljustöðvar starfa meðCryogenic eimingartækni, þar sem andrúmsloftið er þjappað saman, hreinsað, kælt niður í mjög lágt hitastig og aðskilið í aðalþætti þess-aðallega nitur, súrefni og argon.
Í hálfleiðurum er köfnunarefni mest notaða gasið og er nauðsynlegt í miklu magni fyrir margar aðgerðir eins og:
Hreinsun hálfleiðaravinnslubúnaðar
Koma í veg fyrir oxun við meðhöndlun obláta
Viðhalda andrúmsloftsaðstæðum í hreinu herbergi
Að vernda viðkvæm rafeindaefni meðan á framleiðslu stendur
Hár-köfnunarefni sem framleitt er af loftskiljunarstöðvum getur náð hreinleikastigum um99,999% eða hærra, sem gerir það hentugt fyrir háþróaða hálfleiðaraferli.
Að auki eru súrefni og argon sem myndast úr sama kerfi einnig notað í hálfleiðaraframleiðslu, þar með talið oxunarferla, plasmanotkun og sérstakar gasblöndur.
Með því að setja upp-loftskiljustöðvar á staðnum geta hálfleiðaraframleiðendur tryggt astöðugt og stöðugt gasframboð, draga úr flutningskostnaði í tengslum við gasflutninga og viðhalda ströngum gæðaeftirlitsstöðlum.
Modular Air Separation Technology fyrir hálfleiðara forrit
Nútíma hálfleiðara gasinnviðir nýta í auknum mælieininga loftskiljustöðvar, sem eru hönnuð til að einfalda framkvæmd verks og bæta uppsetningu skilvirkni.
Ólíkt hefðbundnum stórum-ASU verkefnum sem krefjast mikillar byggingar- á staðnum, eru einingakerfi smíðuð meðforsmíðaðir íhlutirsem eru settar saman og prófaðar á verksmiðjunni áður en þær eru fluttar á verkstað.
Dæmigerðar einingar eru:
Cryogenic kælibox kerfi
Plata-ugga varmaskipti
Einingarsúlueiningar
Lofthreinsikerfi sameinda sigti
Stjórn- og tækjabúnaðareiningar
Þessi einingahönnun dregur verulega úr flókinni uppsetningu á vettvangi og gerir hálfleiðaraframleiðendum kleift að setja upp gasframleiðsluaðstöðu mun hraðar en hefðbundin verksmiðjabygging.
Ennfremur er hægt að stækka mát loftaðskilnaðarkerfi í samræmi við framleiðslugetu hálfleiðara, sem gerir þau mjög hentug fyrir bæði ný hálfleiðaraverkefni og stórkostlega stækkunarfasa.
Helstu kostir hálfleiðara loftaðskiljunarkerfa
Hár gashreinleiki
Hálfleiðaraframleiðsla krefst afar hárra hreinleikastaðla fyrir gas. Cryogenic loftaðskilnaðartækni er fær um að framleiðaofur-hátt-köfnunarefni og súrefni, sem uppfyllir strangar kröfur um hálfleiðaraframleiðsluumhverfi.
Stöðugt og stöðugt framboð
-Loftskilunarstöðvar á staðnum tryggja stöðuga gasgjöf, sem lágmarkar hættuna á framleiðslutruflunum af völdum utanaðkomandi gasafgreiðslu.
Lægri rekstrarkostnaður
Framleiðsla iðnaðarlofttegunda á-stað getur dregið verulega úr flutnings-, geymslu- og flutningskostnaði samanborið við að treysta algjörlega á afhent fljótandi lofttegund.
Fljótleg uppsetning með Modular Design
Modular ASU tækni gerir kleift að for-sama og prófa marga lykilhluta í verksmiðjunni, sem dregur úr uppsetningartíma og bætir afhendingaráætlanir verkefna.
Orkunýting
Nútíma loftaðskilnaðarverksmiðjur eru með háþróaða frostvarmaskipti og orkuhagræðingartækni, sem bæta heildar skilvirkni kerfisins og lækka rekstrarkostnað.
Kröfur um hreinleika gass í hálfleiðaraiðnaðinum
Aðstaða til að framleiða hálfleiðara þarfnast lofttegunda með mjög lágu óhreinindum. Jafnvel snefilmengun getur haft neikvæð áhrif á gæði og afrakstur obláta.
Dæmigerðar kröfur um hreinleika eru:
Nitur:allt að 99,999% hreinleiki fyrir hreinherbergi og vinnslunotkun
Súrefni:hár hreinleiki fyrir oxunarferli
Argon:ofur-mikill hreinleiki fyrir plasmaferla og sérgasblöndur
Til að uppfylla þessar kröfur verða loftaðskilnaðarstöðvar að samþætta háþróaða hreinsunartækni eins og:
Sameindasigti aðsogskerfi
Cryogenic eimingarsúlur
Nákvæm gasvöktunar- og eftirlitskerfi
Þessi tækni tryggir að lofttegundirnar sem eru afhentar í hálfleiðara framleiðslulínur uppfylli stöðugt strangar hreinleikaforskriftir sem krafist er í nútíma flísaframleiðslu.
Framtíðarþróun í hálfleiðara gasinnviðum
Með hraðri aukningu á framleiðslugetu hálfleiðara á heimsvísu er búist við að eftirspurn eftir iðnaðarlofttegundum aukist verulega á næstu árum.
Nokkrar straumar eru að móta framtíð hálfleiðara loftskiljukerfa:
Aukin eftirspurn eftir-gasframleiðslu á staðnum
Stórar hálfleiðaraframleiðendur byggja í auknum mæli sérstakar loftskiljustöðvar til að tryggja stöðugt gasframboð.
Hærri hreinleikakröfur
Háþróuð flísaframleiðslutækni ýtir undir eftirspurn eftir enn hærri gashreinleikastöðlum.
Orkunýting og sjálfbærni
Ný ASU hönnun er lögð áhersla á að draga úr orkunotkun og kolefnislosun.
Sveigjanleg mátkerfi
Loftaðskilnaðarstöðvar eru að verða ákjósanlegur lausnin vegna sveigjanleika þeirra, hraðrar uppsetningar og minni byggingaráhættu.
Þessi þróun undirstrikar mikilvægi háþróaðra frostgaskerfa til að styðja við næstu kynslóð hálfleiðaraframleiðslu.
Um NEWTEK – Cryogenic Gas Systems
NEWTEK einbeitir sér að loftaðskilnaði og lághita-gaskerfi fyrir iðnaðarnotkun.
Fyrirtækið styður frostsúrefni, köfnunarefni, argon, koltvísýring og tengd gaskerfi með -sértækri uppsetningu verkefnis, samhæfingu búnaðar og tæknilega samþættingu, byggt á skilgreindu umfangi og samningsbundnu fyrirkomulagi.
Í stað þess að starfa sem ein framleiðslueining, vinnur NEWTEK í samvinnu við hæfa búnaðarframleiðendur og verkfræðinga til að styðja við frostgasverkefni undir skýrt skilgreindri ábyrgð.
Með þessari samvinnuaðferð er NEWTEK fær um að veita sveigjanlegan verkfræðilegan stuðning fyrir loftaðskilnaðarverkefni, þar á meðal kerfisuppsetningu, samþættingu búnaðar og samhæfingu verkefna fyrir iðnaðargasforrit.
Kerfisuppsetning, framboðsumfang og-þjónusta á staðnum eru ákvörðuð í samræmi við kröfur verkefnisins og staðfest með samningsbundnu samkomulagi.
